CVD管式爐 高溫電爐，集真空管式爐，多通道氣路系統和真空系統組成，可根據用戶需要設計生產（有雙溫區、三溫區、多溫區），可預抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統有質子流量器和浮子流量控制器）。性能可靠。控制電路選用模糊PID程控技術，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點。

CVD管式爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結構的可控生長等等；也可適用于金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理。CVD管式爐 高溫電爐具有以下優勢：

1、CVD管式爐采用高純石英管或剛玉管作為內爐膛。

2、CVD管式爐溫控系統采用進口多段智能程序溫度控制儀控制，溫度控制具有良好的穩定性、重復性。

3、可拆卸式的三面密封方式，具有良好的潔凈度和真空度；

4、耐火，保溫材料全部采用*進的輕質纖維制品，整機質量輕、能耗低；

5、CVD管式爐加熱元件采用U型硅鋁（碳）棒或*電阻絲。

CVD管式爐功能以及特點說明：

1、CVD管式爐內置兩個溫區，可以營造300℃內不同的溫度梯度；

2、雙溫區控制系統采用PID方式控制，控溫儀表中可以設置30段升降溫程序，每個溫區可以單獨控溫；

3、采用KF快速法蘭密封，只需要一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；

4、CVD管式爐爐蓋可打開，可以實時觀察燒結的物料狀況，并能迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實驗需要；

5、CVD管式爐爐膛采用進口氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，拉伸強度高，無雜球，純度高，節能效果明顯優于國內纖維材料；

6、加熱元件采用內嵌式高電阻優質合金絲0Cr27Al7Mo2，經久耐用，高溫度可達1200℃。

7、預留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統、混氣系統使用；

8、CVD管式爐預留了485轉換接口，可通過我司軟件，與計算機互聯，可實現單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能；可安裝無紙記錄裝置，實現數據的存儲、輸出。

9、CVD管式爐上蓋開啟自動斷電，超溫報警并斷電，漏電保護，操作安全可靠。